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膜製品とフォトマスク
   
エクアではフォトマスクをはじめ精密薄膜製品・光学部品・精密金属部品・ガラス加工・金属加工を行っております。独自のデータ処理技術をベースに図形処理、フォトマスク、フォトリソプロセスから電子部品の組立工程まで、最適のプロセスをご提案いたします。製品や技術に関するお問い合わせはお電話・FAXまたはメールフォームよりお気軽にお寄せください。
       
 

フォトマスク製品について

フォトマスク製品について
 
フォトマスクとは
フォトマスクとは露光用の原板のことです。一般的には、オリジナルパターンを写真法で転写し、基板上に同一のパターンを製作するための基となる原版をさします。
 
フォトマスクの製作方法
フォトマスクは最初に回路基板や光学部品のパターンをCADを用いて設計します。次に、出来上がったデータをレーザー描画装置や電子ビーム露光装置を動作させるデータに変換し、フォトマスク用基板上に描画します。その後、各種検査工程を経て製品となります。
 
フォトマスク用基板の種類
パターンニングされるフォトマスク用の基板には次のような種類があります。
 ・石英基板/ソーダライム基板/フィルム
 
フォトマスクのさらに詳しい情報はこちら → ≪フォトマスクのページへ≫
 

チャート製品について

チャート製品について
 
チャートの種類
テストチャートは各種光学機器の評価や製造装置の位置決め精度をキャリブレーションするために用いられます。
光学部品の評価用パターンとして、解像度、解像力を確認するために数段階から数十段階のライン&スペースを配列したもの、透過率が正弦波状に変化したもの、放射状に白黒パターンを配置したものなどが用いられます。
 
チャート用基板の種類
透過型チャート、反射型チャートをご提供しております。石英ガラスをはじめとした種々のガラスに対応しております。
 
チャートのさらに詳しい情報はこちら → ≪チャートのページへ≫
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8-10-6ユタカビル5F
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