フォトマスク|マスクサイズ|合成石英|ソーダライム|レーザー描画機|露光|エッチング|株式会社エクア

 

基本仕様と規格

 

クロムマスクのサイズ

クロムマスクのサイズ
 
フォトマスクの基板サイズは、使用される露光機、露光方法により決まります。小型のフォトマスク(7x7インチ以下)の場合は標準化されており、4インチ、5インチ、6インチ、7インチの各サイズ、厚さは1.5m、2.3mm、 3.0mmが一般的によく使用されております。これ以上の大きさ、厚さのマスクも露光装置により非常に多く存在しており描画後に所定のサイズに切断することも可能です。下記の一覧表は一般的な規格です。
 

クロムマスクサイズと厚さ (厚みは変更できません)

クロムマスクサイズと厚さ (厚みは変更できません)
 
QZクロムマスク
   
サイズ 0.06 インチ 0.09 インチ 0.12 インチ - 0.25 インチ -
1.6 mm 2.3 mm 3.0 mm 5.0 mm 6.35 mm 8.0 mm
4x4 インチ 4006 4009 - - - -
5x5 インチ 5006 5009 - - - -
6x6 インチ - 6009 6012 - 6025 -
7x7 インチ - 7009 7012 - - -
9x9 インチ - - 9012 9020 9025 -
   
上記よりさらに大きなサイズもご提供可能です。お問い合わせください。
   
SLクロムマスク
   
サイズ 0.06 インチ 0.09 インチ 0.12 インチ - 0.25 インチ -
1.6 mm 2.3 mm 3.0 mm 4.8 mm 6.35 mm 7.8 mm
4x4 インチ 4006 4009 6" CUT - - -
5x5 インチ 5006 5009 6" CUT - - -
6x6 インチ - 6009 6012 - - -
7x7 インチ - 7009 7012 - - -
9x9 インチ - - 9012 - - -
355.6x355.6
mm
- - - -
355.6x431.8
mm
- - - -
430x430
mm
- - - -
508x609.6
mm
- - - - -
700x800
mm
- - - -
   
上記以外のサイズも数多くご提供可能です。お問い合わせください。
 

フィルムマスクのサイズ

フィルムマスクのサイズ
 
フィルムサイズは、お客様のご要望に応じて、最大サイズ1350x1612mm, パターンエリア1300x1580mmまで対応します。
 

フォトマスクの規格

フォトマスクの規格
 
フォトマスクの描画装置は、精度、描画範囲などにより様々なモデルがあります。同じモデルでもレンズを交換することによりいくつかの描画モード(解像度)を選択することができます。
描画装置で使用されるデータにもいくつかの種類があります。エクアではオリジナルのCADデータから、描画装置に最適のデータへ編集を行うことにより 最小線幅1μm、精度±0.1μmからの高精度なフォトマスクを提供しております。
   
クロムマスク 小サイズ クロムマスク 大サイズ フィルムマスク
最大サイズ 432 x 432 mm 711 X 813 mm 1350 x 1612 mm
最大描画範囲 400 x 400 mm 700 X 800 mm 1300 x 1580 mm
最小線幅 1 μm 5 μm 20 μm
線幅精度 ±0.1, ±0.2, ±0.3,
±0.5, ±1.0 μm
±0.3, ±0.5, ±1.0,
±2.0 μm
±3.0 μm ~
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フォトマスク
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