フォトマスク|CADデータ|図形処理|DXF|DWG|GDSⅡ|GERBER|株式会社エクア

 

CAD&製造工程フロー

 

CAD

CAD
 
CAD|図形処理|株式会社エクア
イメージを現実化する
エクアは、お客様の簡単なラフスケッチからでもCADデータを作成し、ご要望のパターンを作成します。様々なアプリケーションに対応しておりますので是非お問い合わせください。
 

製造工程

製造工程
 
DWL-BW|精密機器|株式会社エクア
最新の設備と安心かつ安全な生産体制で
良い品質を作り込む
フォトマスクは24時間の生産体制を整え、ベストリードタイムでお届けします。設備も常に最新のものを取りそろえ、品質に関しましては、様々な分野のお客様のご要望にお応えいたします。
 

フロー

フロー
 
   
 
 
 
       
     
お客様
       
               
   ■CAD工程            
     
データ・図面転送
       
               
     
仕様確認
       
               
     
データ作成/編集
       
               
     
データ承認
       
               
     
マスク製造ライン
       
               
 
 
 ■製造工程          
     
① CADデータ
  コンバート
       
               
     
②  描 画
       
               
     
③ 現像・エッチング
  
   
               
     
④  測 定
       
               
     
⑤  検 査
       
               
     
⑥  洗 浄
       
           
   
*1 ペリクル
貼り付け
*3 ハードコート
プロセス
     
           
   
*2 検 査
*4 検 査
     
           
     
⑦ 出荷検査
       
               
     
⑧ 梱包/出荷
       
                 
               
     
お客様
       
                 
 
■ データフォーマット
DXF、  DWG、 GDSⅡ、 GERBER、画像データBMP、TIF、イラストレーターなど多くのフォーマットに対応
 
■ パターン形状
直線、円、円弧、多角形、SIN波、スパイラル、ランダムなパターン配置などに対応
 
■ 図形補正
プロセスにマッチした柔軟な図形補正
 
 
 
 
 
 
①CADデータを描画データに変換
 
②レーザー描画機でパターンニング
 
③現像・エッチング・レジスト剥離・洗浄プロセス
 
④レーザー干渉計などによる短寸法・長寸法の測定
 
⑤AOIなどの自動欠陥認識装置による
  パターンの外観検査
 
⑥マスク表面洗浄と乾燥工程
 
⑦出荷前の最終検査
 
⑧専用ケースに収納し、出荷
 
 
■オプション
 
*1 露光機に合わせた専用のペリクルを貼り付け
 
*2 ペリクル貼り付け後のパーティクルチェック
 
*3 マスク表面に保護用のハードコートを塗布
 
*4 ハードコート塗布後の外観検査
 
 
 
株式会社エクア
〒252-0303
神奈川県相模原市南区相模大野
8-10-6ユタカビル5F
TEL.042-745-2027
FAX.042-745-2047
────────────
フォトマスク
テストチャート
精密薄膜製品
光学部品
精密金属部品
────────────
050074
<<株式会社エクア>> 〒252-0303 神奈川県相模原市南区相模大野8-10-6ユタカビル5F TEL:042-745-2027 FAX:042-745-2047