ＣＡＤ
イメージを現実化する
エクアは、お客様の簡単なラフスケッチからでもCADデータを作成し、ご要望のパターンを作成します。様々なアプリケーションに対応しておりますので是非お問い合わせください。
製造工程
最新の設備と安心かつ安全な生産体制で
良い品質を作り込む
フォトマスクは24時間の生産体制を整え、ベストリードタイムでお届けします。設備も常に最新のものを取りそろえ、品質に関しましては、様々な分野のお客様のご要望にお応えいたします。
フロー
お客様 | |
↓ | |
■CAD工程 | データ・図面転送 |
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仕様確認 | |
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データ作成／編集 | |
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データ承認 | |
↓ | |
マスク製造ライン | |
■データフォーマット
DXF、 DWG、 GDSⅡ、 GERBER、画像データBMP、TIF、イラストレーターなど多くのフォーマットに対応
■パターン形状
直線、円、円弧、多角形、SIN波、スパイラル、ランダムなパターン配置などに対応
■図形補正
プロセスにマッチした柔軟な図形補正
DXF、 DWG、 GDSⅡ、 GERBER、画像データBMP、TIF、イラストレーターなど多くのフォーマットに対応
■パターン形状
直線、円、円弧、多角形、SIN波、スパイラル、ランダムなパターン配置などに対応
■図形補正
プロセスにマッチした柔軟な図形補正
■製造工程 | ①CADデータコンバート | CADデータを描画データに変換 | ||
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②描画 | レーザー描画機でパターンニング | |||
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③現像・エッチング | 現像・エッチング・レジスト剥離・洗浄プロセス | |||
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④測定 | レーザー干渉計などによる短寸法・長寸法の測定 | |||
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⑤検査 | AOIなどの自動欠陥認識装置によるパターンの外観検査 | |||
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⑥洗浄 | マスク表面洗浄と乾燥工程 | |||
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＊1 ペリクル貼り付け | ↓ | ＊3 ハードコートプロセス | ||
↓ | ↓ | ↓ | ||
＊2 検査 | ↓ | ＊4 検査 | ||
↓ | ↓ | ↓ | ||
⑦出荷検査 | 出荷前の最終検査 | |||
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⑧梱包／出荷 | 専用ケースに収納し、出荷 | |||
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お客様 | ||||
■オプション
＊1 露光機に合わせた専用のペリクルを貼り付け
＊2 ペリクル貼り付け後のパーティクルチェック
＊3 マスク表面に保護用のハードコートを塗布
＊4 ハードコート塗布後の外観検査
＊1 露光機に合わせた専用のペリクルを貼り付け
＊2 ペリクル貼り付け後のパーティクルチェック
＊3 マスク表面に保護用のハードコートを塗布
＊4 ハードコート塗布後の外観検査
