フォトマスク|解像力チャート|テストチャート|フォトエッチング|精密薄膜製品|光学部品|精密金属部品|ガラス加工|株式会社エクア

 

金属部品

   

SUS、アルミ、チタン、インバー等の素材を用いて精密金属部品をご提供しています。これらの製品はレーザー加工、高精度フォトマスクとエッチング、精密電鋳などの技術を組み合わせて製作されています。

 

製品は蒸着用マスク、エンコーダー、電子部品組立治具、精密ワッシャー等として用いられております。又、薄物の金属単体としてだけでなく曲げ加工、張り合わせ加工、黒色メッキなどを施した製品としてもご提供しております。

 

金属のレーザー加工

金属のレーザー加工
 
レーザー加工では、金属板にYAGレーザーを照射し、融解・貫通させることによってパターンを形成しています。フォトマスクが不要なため、小ロットでの製品作成にお勧めです。線幅精度は±10umとなっております。
   
金属のレーザー加工による製作例
   
厚さ0.1mmのSUS304材にて100~500umのパターンを表現しています。金属板の厚みは最小線幅と同じものを推奨しています。
 
レーザー加工品の開口部の拡大図です。コーナー部のR径は12um程度となります。
 

金属のフォトエッチング加工

金属のフォトエッチング加工
 
フォトエッチング技術は金型を使わないで複雑、微細な形状を高精度でかつ短納期、低コストで製作できる精密加工技術です。SUS系をはじめAl、Ti、 Cu、インバーなど多様な金属に対応しております。これらはハーフエッチング加工にも対応しております。また、独自の手法による高アスペクト比の金属加工 製品をご提供しております。
 
 
エッチングのプロセス|株式会社エクア
   
金属のフォトエッチングによる製作例
   
SUSマスクです。金属エッチングにてパターン形成された製品です。SUS材の厚みは0.3mmです。
 
サイズが徐々に拡大する矩形を配置したグラデーションタイプのSUSマスクです。最細線部は14um程度となっております。パターンの線幅に応じてSUSの厚みを選択・設定致します。
 
SUS材をハーフエッチング後、加工された箇所に黒塗料を施した製品です。ハーフエッチングは反射型チャートや製品のナンバリングなどに用いられています。
 

ニッケルの電鋳加工

ニッケルの電鋳加工
 
フォトエッチングでは製作不可能な形状や微細な形状を、ニッケルの電鋳技術を用いて高精度に製作することができます。電鋳加工では形状がレジスト像の転写となるため、極めて高い加工精度が得られます。
 
 
電鋳のプロセス|株式会社エクア
   
ニッケルの電鋳加工による製作例
   
解像力パターンを電鋳加工にて表現した製品です。
 
Ni部20um、ピッチ60umのハニカムパターンの製品です。
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