|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
①CADデータを描画データに変換
②レーザー描画機でパターンニング
③現像・エッチング・レジスト剥離・洗浄プロセス
④レーザー干渉計などによる短寸法・長寸法の測定
⑤AOIなどの自動欠陥認識装置による
パターンの外観検査
⑥マスク表面洗浄と乾燥工程
⑦出荷前の最終検査
⑧専用ケースに収納し、出荷
■オプション
*1 露光機に合わせた専用のペリクルを貼り付け
*2 ペリクル貼り付け後のパーティクルチェック
*3 マスク表面に保護用のハードコートを塗布
*4 ハードコート塗布後の外観検査
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||