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ＣＡＤ＆製造工程フロー

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ＣＡＤ＆製造工程フロー

ＣＡＤ

イメージを現実化する

エクアは、お客様の簡単なラフスケッチからでもCADデータを作成し、ご要望のパターンを作成します。様々なアプリケーションに対応しておりますので是非お問い合わせください。

製造工程

最新の設備と安心かつ安全な生産体制で

良い品質を作り込む

フォトマスクは24時間の生産体制を整え、ベストリードタイムでお届けします。設備も常に最新のものを取りそろえ、品質に関しましては、様々な分野のお客様のご要望にお応えいたします。

フロー

お客様

↓

■CAD工程

データ・図面転送

↓

仕様確認

↓

データ作成／編集

↓

データ承認

↓

マスク製造ライン

↓

■製造工程

①　CADデータ

　　コンバート

↓

②　　描　画

↓

③　現像・エッチング

↓

④　　測　定

↓

⑤　　検　査

↓

⑥　　洗　浄

↓

*1 ペリクル

貼り付け

↓

*3 ハードコート

プロセス

↓

*2　検　査

↓

*4　検　査

↓

⑦　出荷検査

↓

⑧　梱包／出荷

↓

お客様

■　データフォーマット

DXF、 DWG、 GDSⅡ、 GERBER、画像データBMP、TIF、イラストレーターなど多くのフォーマットに対応

■　パターン形状

直線、円、円弧、多角形、SIN波、スパイラル、ランダムなパターン配置などに対応

■　図形補正

プロセスにマッチした柔軟な図形補正

①CADデータを描画データに変換

②レーザー描画機でパターンニング

③現像・エッチング・レジスト剥離・洗浄プロセス

④レーザー干渉計などによる短寸法・長寸法の測定

⑤AOIなどの自動欠陥認識装置による

　パターンの外観検査

⑥マスク表面洗浄と乾燥工程

⑦出荷前の最終検査

⑧専用ケースに収納し、出荷

■オプション

＊1　露光機に合わせた専用のペリクルを貼り付け

＊2　ペリクル貼り付け後のパーティクルチェック

＊3　マスク表面に保護用のハードコートを塗布

＊4　ハードコート塗布後の外観検査

	種類と構造

	基本仕様と規格

English

株式会社エクア

〒252-0303
神奈川県相模原市南区相模大野

8-10-6ユタカビル5F
TEL.042-745-2027
FAX.042-745-2047
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フォトマスク

テストチャート
精密薄膜製品
光学部品
精密金属部品
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<<株式会社エクア>> 〒252-0303 神奈川県相模原市南区相模大野8-10-6ユタカビル5F TEL：042-745-2027　FAX：042-745-2047