CAD
We bring concepts to life
With even just a simple rough sketch, EQUA can create CAD data as well as the desired patterns. We support a variety of applications. Please contact us for details.
Production Process
We achieve high levels of quality based on the latest equipment and a safe and reliable production system
For photomasks, we implement a 24-hour production system and deliver the best possible lead time. We also continuously maintain a lineup of the latest equipment, meeting the quality requirements of customers in a wide variety of fields.
Manufacturing Process
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(1) Conversion of CAD data to imaging data (2) Patterning by laser imaging device (3) Developing/etching/resist stripping/cleaning process (4) Measurement of line width and long dimensions using a laser interferometer or the like (5) Visual inspection of pattern using AOI or other automatic defect detection equipment (6) Mask surface cleaning and drying process (7) Final inspection prior to shipping (8) Packing into custom case, and shipping ■ Options *1. Mounting of customized pellicle suited to the exposure device *2. Particle check after mounting pellicle *3. Application of hard coating liquid to protect mask surface *4. Visual inspection after application of hard coating liquid | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
