クロムマスクのサイズ
フォトマスクの基板サイズは、使用される露光機、露光方法により決まります。
小型のフォトマスク（7x7インチ以下）の場合は標準化されており、4インチ、5インチ、6インチ、7インチの各サイズ、厚さは1.5m、2.3mm、3.0mmが一般的によく使用されております。
これ以上の大きさ、厚さのマスクも露光装置により非常に多く存在しており描画後に所定のサイズに切断することも可能です。下記の一覧表は一般的な規格です。
クロムマスクサイズと厚さ
QZクロムマスク
サイズ | 0.06 インチ | 0.09 インチ | 0.12 インチ | - | 0.25 インチ | - |
1.6 mm | 2.3 mm | 3.0 mm | 5.0 mm | 6.35 mm | 8.0 mm | |
4x4 インチ | 〇 | 〇 | - | - | - | - |
5x5 インチ | 〇 | 〇 | - | - | - | - |
6x6 インチ | - | 〇 | - | 〇 | 〇 | - |
7x7 インチ | - | - | 〇 | - | - | - |
9x9 インチ | - | - | 〇 | 〇 | - | - |
350x350mm | - | - | 〇 | - | - | - |
700x800mm | - | - | - | 〇 | - | 〇 |
上記以外のサイズもご提供可能です。お問い合わせください。
SLクロムマスク
サイズ | 0.06 インチ | 0.09 インチ | 0.12 インチ | - | 0.25 インチ | - |
1.6 mm | 2.3 mm | 3.0 mm | 4.8 mm | 6.35 mm | 7.8 mm | |
4x4 インチ | 〇 | 〇 | - | - | - | - |
5x5 インチ | 〇 | 〇 | - | - | - | - |
6x6 インチ | - | 〇 | - | - | - | - |
7x7 インチ | - | - | 〇 | - | - | - |
9x9 インチ | - | - | 〇 | - | - | - |
355.6x431.8 mm | - | - | ○ | - | - | - |
430x430 mm | - | 〇 | ○ | - | - | - |
508x609.6 mm | - | - | - | ○ | - | - |
700x800 mm | - | - | - | ○ | - | - |
上記以外のサイズも数多くご提供可能です。お問い合わせください。
ガラスエマルジョンマスクのサイズ
ガラスエマルジョンマスクのサイズは、お客様のご要望に応じて、最大サイズ711.2x812.8mmまで対応します。
ガラスエマルジョンマスクサイズと厚さ
ガラスエマルジョンマスク
サイズ | 3.0mm | 5.0mm |
355.6x431.８mm | 〇 | - |
431.8x431.8mm | 〇 | - |
508x609.6mm | - | 〇 |
609.6x709mm | - | 〇 |
711.2x812.8mm | - | 〇 |
上記以外のサイズもご提供可能です。お問い合わせください。
フィルムマスクのサイズ
フィルムサイズは、お客様のご要望に応じて、最大サイズ2400x1600mm程度、パターンエリア2300x1500mm程度まで対応します。
フォトマスクの規格
フォトマスクの描画装置は、精度、描画範囲などにより様々なモデルがあります。同じモデルでもレンズを交換することによりいくつかの描画モード（解像度）を選択することができます。
描画装置で使用されるデータにもいくつかの種類があります。エクアではオリジナルのCADデータから、描画装置に最適のデータへ編集を行うことにより 最小線幅1μm、精度±0.1μmからの高精度なフォトマスクを提供しております。
| クロムマスク 小サイズ | クロムマスク 大サイズ | ガラスエマルジョンマスク |
フィルムマスク | |
| 最大サイズ | 228.6 x 228.6 mm |
711 X 813 mm | 711.2x812.8mm |
2300 x 1506 mm |
| 最大描画範囲 | 212.8 x 212.8 mm |
681 X 783 mm | 651.2x752.8mm |
2200 x 1400 mm程度 |
| 最小線幅 | 1 μm | 2 μm | 15um |
20 μm |
| 線幅精度 | ±0.1, ±0.3, ±0.5, ±1.0 um |
±0.3, ±0.5, ±1.0, ±2.0 um | ±3.0 um |
±4.0 μm |
1um未満のパターンも製作可能です。お問い合わせください。
