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Q&A

フォトマスク編

フォトリソ用のマスク製作可能ですか?
マスクにレジストが付着して困っています。解決方法ありますか?
最小デザインは、どの程度まで製作できますか?
ガラス基材で金属膜以外の製作方法ありますか?
ペリクル対応可能でしょうか?
フォトマスクを使用していますが、静電破壊が発生し製品が破壊され困っています。
テストチャートやフォトマスクの切断は可能でしょうか?
外形加工について、丸形や異形状に加工すること可能でしょうか?

テストチャート編

テストチャートはどのような基材で製作できますか?
反射型のチャートの製作可能ですか?
カラーチャート製作可能ですか?
テストチャートのスタンダード製品(規格品)はありますか?
反射率等指定して製品製作すること可能でしょうか?
テストチャートやフォトマスクの切断は可能でしょうか?
どれくらい薄いガラスのパターンニングが可能でしょうか?

グレースケール編

ステップタブレットやグラデーション模様の製作可能でしょうか?

フォトリソグラフィ編

ガラス基材やPET基材以外へのパターンニングは可能でしょうか?

光学部品編

レチクルに色味のついたメモリを印字したいです。ご対応可能でしょうか?
レチクルやテストチャートにコーティング可能でしょうか?

ガラス製品編

ガラス基材を購入したいです。対応可能でしょうか?
ガラスの穴あけや溝を掘るなどの加工は可能でしょうか?

金属部品編

金属基材の加工は可能でしょうか?
金属基材で高アスペクトの製品を製作したいです。可能でしょうか?
装置の治工具を検討しています。製作可能でしょうか?

その他

データ作成だけの対応は可能か?
対応可能なデータ形式を教えてください。
量産対応可能ですか?
株式会社エクア
〒252-0303
神奈川県相模原市南区相模大野
8-10-6ユタカビル5F

TEL.042-745-2027
FAX.042-745-2047

フォトマスク
テストチャート
精密薄膜製品
光学部品
精密金属部品
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