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フォトマスク

フォトマスクとは、電子回路、表示デバイス、光学部品、精密機器などのパターンをウェハ、ガラス基板、プリント基板、金属板などに露光する際に使用される原板のことです。
フォトマスクに描かれたパターンは多くの電気製品、半導体、テレビ、スマートフォン、ノイズフィルター、スケール、ネットワーク回線関連製品に使用されております。

エクアがご提供するフォトマスクは、主にレーザーを光源とした最新の装置により描画されております。エレクトロニクス、光学部品、スケール、ディスプレイなどの分野において、長年に渡る経験豊富な精密フォトリソグラフィー技術、またエクア独自の図形処理技術により、お客様の多様なニーズにお応えします。

フォトマスクの基材は、ガラスとフィルムがあります。またサイズも様々取り揃えておりますので、用途や価格に応じて最適なものをご案内することが可能です。

CAD

CAD|図形処理|株式会社エクア
CADは、精密薄膜製品の作成において、最適な作成プロセスを構築するための重要な工程のひとつです。
エクアで培われてきた設計技術はCAD工程を主軸に、多種多様な製品作成へと生かされ、展開しております。

イメージの現実化

CAD|図形処理|株式会社エクア
エクアは図面からデータを作成し、お客様のイメージや構想の実現をサポートします。
ご支給いただく図面は簡単なラフスケッチからでも大丈夫です。
また、資料をご支給いただく際も様々なアプリケーションに対応しておりますので、是非お問い合わせください。

【主なデータフォーマット】
DXF、DWG、GDSⅡ、GERBER、BMP、TIF、PDF、Ai

グラデーションパターンの設計

エクアでは、お客様のご希望の濃度・透過率変化によるグラデーションパターンの設計が可能です。均一な変化に限らず、正弦波や放物線、自由な濃度変化にも対応いたします。

ご提示いただく変化値は簡単な数値や数式、表データなどでも結構ですので、ご気軽にご相談ください。

製造工程

DWL-BW|精密機器|株式会社エクア
フォトマスクは、24時間の生産体制を整え、ベストリードタイムでお届けします。設備も常に最新のものを取りそろえ、品質に関しましては、様々な分野のお客様のご要望にお応えいたします。

フロー

■データフォーマット
DXF、DWG、GDSⅡ、GERBER、BMP、TIF、Aiなど多くのフォーマットに対応
■パターン形状
直線、円、円弧、多角形、SIN波、スパイラル、ランダムなパターン配置などに対応
■図形補正
プロセスにマッチした柔軟な図形補正
■オプション
*1 露光機に合わせた専用のペリクルを貼り付け
*2 ペリクル貼り付け後のパーティクルチェック
*3 マスク表面に保護用のハードコートを塗布
*4 ハードコート塗布後の外観検査
株式会社エクア
〒252-0303
神奈川県相模原市南区相模大野
8-10-6ユタカビル5F

TEL.042-745-2027
FAX.042-745-2047

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