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反射型チャート

白色ガラスチャート

白色ガラスチャート|株式会社エクア
白色ガラスチャート
白色ガラスチャートは白色ガラス基板(ネオセラムN11、ネクストリーマ)上に金属膜でパターンを形成した製品です。
反射光を用いて計測、位置決め、評価を行う場合に有効な製品です。基板は鏡面と非鏡面(艶消し)の2通りの選択が可能です。基板の熱膨張係数は1.3×10-6となっており、石英ガラス基板にせまる位置決め精度を実現します。金属膜は主にクロム+酸化クロムの2層膜となっており、色は金茶色または紺色となります。
独自の製法によりチャートサイズは最大430×430mmまでの製品が製作可能です。高精度なフォトリソプロセスを採用することによりパターンの線幅は最小2μmまで対応しています。

白色フィルムチャート

白色フィルムチャート|株式会社エクア
白色フィルムチャート
透過型フィルムチャートの背景を白色加工した製品です。
透明フィルムチャートと同等の精度が得られ、大サイズの作成が可能というメリットがあります。

白色PETチャート

白色PETチャート|株式会社エクア
白色PETチャート
白色のフレキシブルなPET素材の上に黒色のチャートパターンが高精度に描画されています。
従来品の紙ベースの印画紙と比べ耐久性に優れています。また微細パターンの形成が可能となっており解像度は最小20μmのラダーパターンを実現します。サイズはA4、A3サイズなどに対応します。PETの厚さは125μm、188μmなどより選択ができます。撮影用のチャートとしてご使用になる場合はアルミ複合板に接着した製品をご提供しています

印画紙チャート

印画紙チャート|株式会社エクア
印画紙チャート
写真感光材料である印画紙はオフセット印刷と比べ高解像度が特徴です。
薄い紙ベースでありながら最小50μmのラダーパターンを実現します。印画紙のチャートはオリジナル原版よりコピーして製作しますが、精密な位置精度が必要な場合はガラス原版の使用をおすすめしています。印画紙をアルミ複合板に接着した製品もございます。
 
さらに詳しい説明はこちらをご覧ください

アルミ基板による反射型チャート

黒色のマットなパターンによる全金属製のチャートです。
基材がアルミのため軽くて耐久性があります。また、ガラスと異なり割れる心配がないため取り扱いが容易です。
パターン部はフォトマスク原版より作成していますので、高い位置精度でのパターニングが可能です。

画像の製品は板厚5mmとなります。その他の厚みの基材や大サイズ製品の作成も可能です。
他の基材のチャートと同様、規則的なデザインに限らず自由なデザインでパターニングすることができます。


エクアではアルミ以外にも金属製品の取り扱いがございます。その他の金属製品についてはこちらをご覧ください。

株式会社エクア
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