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基本仕様と規格

クロムマスクのサイズ

フォトマスクの基板サイズは、使用される露光機、露光方法により決まります。
小型のフォトマスク(7x7インチ以下)の場合は標準化されており、4インチ、5インチ、6インチ、7インチの各サイズ、厚さは1.5m、2.3mm、3.0mmが一般的によく使用されております。
これ以上の大きさ、厚さのマスクも露光装置により非常に多く存在しており描画後に所定のサイズに切断することも可能です。下記の一覧表は一般的な規格です。

クロムマスクサイズと厚さ (厚みは変更できません)

QZクロムマスク

サイズ
0.06 インチ
0.09 インチ
0.12 インチ
-
0.25 インチ
-
1.6 mm
2.3 mm
3.0 mm
5.0 mm
6.35 mm
8.0 mm
4x4 インチ
4006
4009
-
-
-
-
5x5 インチ
5006
5009
-
-
-
-
6x6 インチ
-
6009
6012
6020
6025
-
7x7 インチ
-
7009
7012
-
-
-
9x9 インチ
-
-
9012
9020
-
-
上記以外のサイズもご提供可能です。お問い合わせください。

SLクロムマスク

サイズ
0.06 インチ
0.09 インチ
0.12 インチ
-
0.25 インチ
-
1.6 mm
2.3 mm
3.0 mm
4.8 mm
6.35 mm
7.8 mm
4x4 インチ
4006
4009
6" CUT
-
-
-
5x5 インチ
5006
5009
6" CUT
-
-
-
6x6 インチ
-
6009
6012
-
-
-
7x7 インチ
-
7009
7012
-
-
-
9x9 インチ
-
-
9012
-
-
-
355.6x355.6
mm
-
-


-
-
355.6x431.8
mm
-
-


-
-
430x430
mm
-
-


-
-
508x609.6
mm
-
-
-

-
-
700x800
mm
-
-
-

-

上記以外のサイズも数多くご提供可能です。お問い合わせください。

ガラスエマルジョンマスクのサイズ

ガラスエマルジョンマスクのサイズは、お客様のご要望に応じて、最大サイズ711.2x812.8mmまで対応します。

ガラスエマルジョンマスクサイズと厚さ (厚みは変更できません)

ガラスエマルジョンマスク

サイズ
1.6mm
3.0mm
5.0mm
5インチ

355.6x431.8mm
431.8x431.8mm


508x609.6mm


609.6x709mm

711.2x812.8mm


上記以外のサイズもご提供可能です。お問い合わせください。

フィルムマスクのサイズ

フィルムサイズは、お客様のご要望に応じて、最大サイズ2400x1562mm、パターンエリア2350x1512mmまで対応します。

フォトマスクの規格

フォトマスクの描画装置は、精度、描画範囲などにより様々なモデルがあります。同じモデルでもレンズを交換することによりいくつかの描画モード(解像度)を選択することができます。
描画装置で使用されるデータにもいくつかの種類があります。エクアではオリジナルのCADデータから、描画装置に最適のデータへ編集を行うことにより 最小線幅1μm、精度±0.1μmからの高精度なフォトマスクを提供しております。
クロムマスク 小サイズ
クロムマスク 大サイズ
ガラスエマルジョンマスク
フィルムマスク
最大サイズ 432 x 432 mm
711 X 813 mm
711.2x812.8mm
2450 x 1612 mm
最大描画範囲 400 x 400 mm
681 X 783 mm
651.2x752.8mm
2350 x 1512 mm
最小線幅 1 μm
2 μm
15um
20 μm
線幅精度 ±0.1, ±0.2, ±0.3,
±0.5, ±1.0 μm
±0.3, ±0.5, ±1.0,
±2.0 μm
±2.0um
±3.0 μm ~
株式会社エクア
〒252-0303
神奈川県相模原市南区相模大野
8-10-6ユタカビル5F

TEL.042-745-2027
FAX.042-745-2047

フォトマスク
テストチャート
精密薄膜製品
光学部品
精密金属部品
0
7
6
8
2
4
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