フォトマスク｜クロムマスク｜エマルジョンマスク｜フィルムマスク｜ハードコートマスク｜株式会社エクア
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種類と構造
品質、コスト、デリバリーに関して最適な提案をします。
フォトマスクにはガラスマスクとフィルムマスクがあり、さらにガラスマスクはクロムマスクとエマルジョンマスクの2種類があります。
クロムマスクは、ガラス基板にクロムと酸化クロムがスパッタされたガラス基板にパターンニングされたものです。
エマルジョンマスクとフィルムマスクは、それぞれに写真銀塩乳剤がコーティングされたガラス基板やPET上にパターンニングされたものです。
エクアでは、クロムマスクとフィルムマスクをご提供しております。
ガラス基板
ソーダライムと合成石英の主な違いは、熱膨張率と透過率です。熱膨張係数と透過率は以下の通りです。
| 基材材質 | 熱膨張係数 |
透過率
|
| 合成石英 |
0.5 x 10-6
( 0.05 μm/ ℃/ 100 mm ) |
90% / 200 nm 以上
|
| ソーダライム |
8.0 x 10-6
( 0.8 μm/ ℃/ 100 mm ) |
83% / 380 nm 以上 |
クロム膜について
クロム膜について
ガラス基板上のクロム薄膜は2層構造になっており、1層目がピュアクロム、2層目が酸化クロムです。厚さはそれぞれ約700Å、300Åで合計1000Åです。
酸化クロムは反射防止の目的で付けられており茶色を呈しています。これらガラス基板上のクロム膜の有無をフォトエッチングプロセスにて形成しパターンが出来上がります。
■クロムマスク
標準的なクロムマスクの構造です。低反射二層クロム膜といい、光学濃度3.0OD, 反射率は約10％/436nmです。
■ハードコート付きクロムマスク
透明樹脂がクロムの膜面上に2～3umほどの厚みで塗布されています。クロムマスクの表面を保護し、パターンダメージを防ぐ効果があります。
■ペリクル付きクロムマスク
クロムマスクの表面にパターティクルや他の物質の付着から保護するために左図のようなペリクルを装着させます。主に、ステッパーなどの露光機に使用され、機種は露光機により限定されます。
株式会社エクア
〒252-0303
神奈川県相模原市南区相模大野
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8-10-6ユタカビル5F
TEL.042-745-2027
FAX.042-745-2047
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フォトマスク
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テストチャート
精密薄膜製品
光学部品
精密金属部品
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