フォトマスク｜マスクサイズ｜合成石英｜ソーダライム｜レーザー描画機｜露光｜エッチング｜株式会社エクア

フォトマスクの基板サイズは、使用される露光機、露光方法により決まります。小型のフォトマスク（7x7インチ以下）の場合は標準化されており、4インチ、5インチ、6インチ、7インチの各サイズ、厚さは1.5m、2.3mm、 3.0mmが一般的によく使用されております。これ以上の大きさ、厚さのマスクも露光装置により非常に多く存在しており描画後に所定のサイズに切断することも可能です。下記の一覧表は一般的な規格です。

上記よりさらに大きなサイズや、リストに記載されていない板厚についてもご提供可能です。お問い合わせください。

上記以外のサイズも数多くご提供可能です。お問い合わせください。

フィルムサイズは、お客様のご要望に応じて、最大サイズ2400x1562mm、パターンエリア2350x1512mmまで対応します。

フォトマスクの描画装置は、精度、描画範囲などにより様々なモデルがあります。同じモデルでもレンズを交換することによりいくつかの描画モード（解像度）を選択することができます。

描画装置で使用されるデータにもいくつかの種類があります。エクアではオリジナルのCADデータから、描画装置に最適のデータへ編集を行うことにより 最小線幅1μm、精度±0.1μmからの高精度なフォトマスクを提供しております。