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白色ガラスチャートは白色ガラス基板(ネオセラムN11)上に金属膜でパターンを形成した製品です。反射光を用いて計測、位置決め、評価を行う場合に有効な製品です。基板は鏡面と非鏡面(艶消し)の2通りの選択が可能です。基板の熱膨張係数は1.3×10^-6となっており、石英ガラス基板にせまる位置決め精度を実現します。金属膜は主にクロム+酸化クロムの2層膜となっており、色は金茶色または紺色となります。独自の製法によりチャートサイズは最大600×800mmまでの製品が製作可能です。高精度なフォトリソプロセスを採用することによりパターンの線幅は最小2μmまで対応しています。

黒色ガラスチャートは黒色ガラス上にCr膜でパターンが形成されています。白色ガラスチャートと同じように反射光を用いて位置精度の評価を行う場合に使用されます。ガラス表面はマット処理されているため、表面からの映り込みがありません。チャートパターンと黒色ガラスの間に良好なコントラストを得ることが可能です。

写真感光材料である印画紙はオフセット印刷と比べ高解像度が特徴です。薄い紙ベースでありながら最小20μmのラダーパターンを実現します。印画紙のチャートはオリジナル原版よりコピーして製作しますが、精密な位置精度が必要な場合はガラス原版の使用をおすすめしています。印画紙をアルミ複合板に接着した製品もございます。

 

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エクアではアルミセラミックス、金属板などを素材としたチャート製作にも対応しています。