フォトマスクとは、電子回路、表示デバイス、光学部品、精密機器などのパターンをウェハ、ガラス基板、プリント基板、金属板などに露光する際に使用される原板のことです。
フォトマスクに描かれたパターンは多くの電気製品、半導体、テレビ、スマートフォン、ノイズフィルター、スケール、ネットワーク回線関連製品に使用されております。
エクアがご提供するフォトマスクは、主にレーザーを光源とした最新の装置により描画されております。エレクトロニクス、光学部品、スケール、ディスプレイなどの分野において、長年に渡る経験豊富な精密フォトリソグラフィー技術、またエクア独自の図形処理技術により、お客様の多様なニーズにお応えします。
フォトマスクの基材は、ガラスとフィルムがあります。またサイズも様々取り揃えておりますので、用途や価格に応じて最適なものをご案内することが可能です。
CAD
CADは、精密薄膜製品の作成において、最適な作成プロセスを構築するための重要な工程のひとつです。
エクアで培われてきた設計技術はCAD工程を主軸に、多種多様な製品作成へと生かされ、展開しております。
イメージの現実化
エクアは図面からデータを作成し、お客様のイメージや構想の実現をサポートします。
ご支給いただく図面は簡単なラフスケッチからでも大丈夫です。
また、資料をご支給いただく際も様々なアプリケーションに対応しておりますので、是非お問い合わせください。
【主なデータフォーマット】
DXF、DWG、GDSⅡ、GERBER、BMP、TIF、PDF、Ai
グラデーションパターンの設計
エクアでは、お客様のご希望の濃度・透過率変化によるグラデーションパターンの設計が可能です。均一な変化に限らず、正弦波や放物線、自由な濃度変化にも対応いたします。
ご提示いただく変化値は簡単な数値や数式、表データなどでも結構ですので、ご気軽にご相談ください。
製造工程
フォトマスクは、24時間の生産体制を整え、ベストリードタイムでお届けします。設備も常に最新のものを取りそろえ、品質に関しましては、様々な分野のお客様のご要望にお応えいたします。
フロー
お客様 | |
↓ | |
■CAD工程 | データ・図面転送 |
↓ | |
仕様確認 | |
↓ | |
データ作成/編集 | |
↓ | |
データ承認 | |
↓ | |
マスク製造ライン |
■データフォーマット
DXF、DWG、GDSⅡ、GERBER、BMP、TIF、Aiなど多くのフォーマットに対応
■パターン形状
直線、円、円弧、多角形、SIN波、スパイラル、ランダムなパターン配置などに対応
■図形補正
プロセスにマッチした柔軟な図形補正
DXF、DWG、GDSⅡ、GERBER、BMP、TIF、Aiなど多くのフォーマットに対応
■パターン形状
直線、円、円弧、多角形、SIN波、スパイラル、ランダムなパターン配置などに対応
■図形補正
プロセスにマッチした柔軟な図形補正
■製造工程 | ①CADデータコンバート | CADデータを描画データに変換 | ||
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②描画 | レーザー描画機でパターンニング | |||
↓ | ||||
③現像・エッチング | 現像・エッチング・レジスト剥離・洗浄プロセス | |||
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④測定 | レーザー干渉計などによる短寸法・長寸法の測定 | |||
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⑤検査 | AOIなどの自動欠陥認識装置によるパターンの外観検査 | |||
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⑥洗浄 | マスク表面洗浄と乾燥工程 | |||
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*1 ペリクル貼り付け | ↓ | *3 ハードコートプロセス | ||
↓ | ↓ | ↓ | ||
*2 検査 | ↓ | *4 検査 | ||
↓ | ↓ | ↓ | ||
⑦出荷検査 | 出荷前の最終検査 | |||
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⑧梱包/出荷 | 専用ケースに収納し、出荷 | |||
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お客様 |
■オプション
*1 露光機に合わせた専用のペリクルを貼り付け
*2 ペリクル貼り付け後のパーティクルチェック
*3 マスク表面に保護用のハードコートを塗布
*4 ハードコート塗布後の外観検査
*1 露光機に合わせた専用のペリクルを貼り付け
*2 ペリクル貼り付け後のパーティクルチェック
*3 マスク表面に保護用のハードコートを塗布
*4 ハードコート塗布後の外観検査