透過型ガラスチャート
透明ガラス基板にクロム薄膜を用いて高精度、高解像度のパターンを形成した製品です。光学デバイスの評価に用いられます。
パターン形状は解像度をチェックするために各種線幅、線間のチャートを規則的に配列したもの、位置精度をチェックするためにドットパターンや十字マークをアレイ状に並べたもの等が代表的なものです。最小パターンは1μmより製作可能です。クロム薄膜の色はクロム単層の場合は銀色、酸化クロムの場合は金茶色または紺色になります。パターンは高精度レーザー描画装置により形成されます。
ガラスの種類と特性
ガラス基板は主に合成石英、ソーダライムが用いられます。他にBK7、白板なども よく用いられます。
チャートの表面、裏面には使用目的にあわせて反射防止膜や各種コーティング処理に対応いたします。
ガラスチャート基板の厚さは、1.0mm、1.5mm、2.3mm、3.0mm、5.0mmが標準となりますがご希望の厚さに対応しております。最も薄いチャートでガラス基板の厚さは0.1mmとなります。長方形、円形など任意のサイズ、形状に加工することができ、特殊な外形形状、貫通穴加工、ザグリ加工なども高精度に行うことが可能です。
透過型フィルムチャート
透過型フィルムチャートはPET素材に黒色のパターンが描画されています。
パターンのサイズは最小20μmより形成可能です。
エクアのフィルムチャートの特徴は大サイズ対応と精密な外形加工が可能なことです。最大外径サイズは2300×1506mmとなっています。精密な外形サイズか要望される場合、外形は精密金型による加工、切断装置による加工の2通りの方法で加工されます。
透過型カラーチャート
透明ガラス基板上にRGB色のパターンを形成したテストチャートです。
ガラスサイズは最大420×530mmまで対応可能です。最小パターン幅は20umとなります。1枚のガラス基板にRGBいずれか単色の製品だけでなく、RGB3色を混在させることもできます。製品には分光透過率データ、色座標測定データを添付することもできます。製品は10mm角などから最大サイズまで任意の大きさに切断加工いたします。またテストチャートは目的にあわせた自由なデザインが可能です。エクアオリジナルデザインの標準カラーチャートもございます。
